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先进靶材料研究团队

团队编号
10434
工作单位
郑州大学
单位类型
211系统院所
研究方向
高纯金属和陶瓷靶材随着诸多功能薄膜的广泛应用发展而快速发展。目前我国高性能靶材的制备技术与国外先进水平还存在较大差距,今后目标方向是先进材料提纯技术(熔盐电解、电子束熔炼等)、粉末冶金成型技术与装备(等离子球化制粉技术、高温氧气氛烧结技术、大尺寸高温真空热处理炉等)以及大尺寸旋转金属(合金)和陶瓷靶材的研究开发。
关注
团队简介
郑州大学于2015年4月成立河南省资源与材料工业技术研究院,组建了由冶金材料专家何季麟院士领衔的专家团队,建设了国内最好的先进靶材料中试研究、开发和检测平台,专注战略性新兴电子信息产业用高纯金属(合金)(W、Mo、Ta、Ti、Cu等)和陶瓷靶材(ITO、IGZO、AZO、AlN、SiC等)的研究开发。先进靶材料实验室是从事新型粉体制备与功能材料领域的新技术、新工艺、新装备和新产品研究开发的中试平台,先期主要任务是集成电路、平板显示器和薄膜太阳能电池用高纯金属(合金)与氧化物/非氧化物陶瓷靶材料的研究开发,进而拓展3D打印难熔球形粉体与航空航天新材料制备等领域,建立基础研究、中试开发和成果转化相结合的研发体系,成为国内领先的靶材料综合研究基地和专业人才培养基地。
参展成果

                                        

骨干成员

姓名 职务/职称 方向

在研课题

课题名称 科技计划名称

重大成果

成果名称 所获奖项
平板显示用高性能ITO靶材制备关键技术及工程化 国家技术发明奖二等奖

团队带头人

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联系方式

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